截止2023年9月22日，个股表现方面，光刻机ji板块股票当日领跌股为扬帆新材(300637)，该股当日ri报收10.11，上涨-6.39%，成交量53.09万。冠石科技ji(605588)以下跌-5.15%紧随其后，该gai股当日成交量11.9万。此外，广信材料(300537)、东dong方嘉盛(002889)、联合精密(001268)均进入当日光刻机板块股票piao熊股之列。
市值zhi来看，截止2023年9月22日ri，光刻机板块股票中东方fang嘉盛、冠石科技、广信材cai料、联合精密、京华激光guang等7家市值位于不足100亿之zhi列。
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